日本CKD喜開理半導(dǎo)體電動執(zhí)行器滑塊型EJSG

日本CKD喜開理半導(dǎo)體電動執(zhí)行器滑塊型EJSG

CKD 日本喜開理半導(dǎo)體電動執(zhí)行器滑塊型 EJSG 系列深度解析

一、核心技術(shù)與設(shè)計理念

EJSG 系列是 CKD 專為半導(dǎo)體制造、精密電子等高潔凈環(huán)境開發(fā)的滾珠絲桿驅(qū)動型電動執(zhí)行器，通過全密封結(jié)構(gòu) + 吸氣口設(shè)計，將發(fā)塵量降低至行業(yè)水平，滿足 ISO 4 級（10 級）潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。其外導(dǎo)軌式高剛性本體結(jié)合無電池絕對編碼器，在保證 ±0.01mm 重復(fù)定位精度的同時，實現(xiàn)最長 1100mm 行程和 850mm/s 的高速運動，尤其適合晶圓搬運、芯片封裝等對精度與可靠性要求苛刻的場景。該系列提供 ** 低發(fā)塵（-C）、防塵（-G）、二次電池制造（-P4）、食品級（-FP1）** 四大耐環(huán)境型號，可適配從半導(dǎo)體光刻到鋰電池極片涂布的多樣化需求。

二、型號參數(shù)與性能指標(biāo)

EJSG-04：本體寬度 44mm，水平負(fù)載 6kg，行程范圍 50-800mm，最高速度 400mm/s，適配 60W 伺服馬達，重復(fù)定位精度 ±0.01mm，適合輕載短程精密定位。

EJSG-05：本體寬度 54mm，水平負(fù)載 14kg，行程范圍 50-1100mm，最高速度 500mm/s，支持 100W 伺服馬達，采用 10mm 導(dǎo)程滾珠絲桿，適合中長距離高速搬運。

EJSG-08：本體寬度 82mm，水平負(fù)載 43kg，行程范圍 50-1100mm，最高速度 500mm/s，適配 200W 伺服馬達，可承載大型檢測設(shè)備穩(wěn)定運行。

低發(fā)塵型（-C）：通過全罩式密封結(jié)構(gòu)和吸氣口設(shè)計，發(fā)塵量比標(biāo)準(zhǔn)品減少 90%，滿足半導(dǎo)體光刻工序?qū)崈舳鹊膰?yán)苛要求。

防塵型（-G）：防護等級 IP50，粉塵環(huán)境下的使用壽命是標(biāo)準(zhǔn)品的 2 倍以上，適用于晶圓切割、研磨等多塵場景。

通用特性：全系標(biāo)配外置潤滑脂加注口和可視化維護指示器，保養(yǎng)工時減少 50%；無電池絕對編碼器避免電池更換維護，平均時間（MTBF）達 20,000 小時。

三、型號組合應(yīng)用實例

案例：晶圓檢測線全流程自動化

在某半導(dǎo)體工廠的晶圓外觀檢測系統(tǒng)中，采用 EJSG-08-C（低發(fā)塵型） 與 EKS-06L（高精度滑塊型） 的組合方案：

EJSG-08-C 作為水平輸送軸，以 500mm/s 速度完成 1100mm 行程的晶圓盒移送，其 43kg 水平負(fù)載能力可穩(wěn)定承載雙層晶圓盒；

EKS-06L 作為垂直定位軸，通過 ±0.01mm 重復(fù)定位精度實現(xiàn)檢測探頭精準(zhǔn)對焦，滿足納米級缺陷檢測需求；

協(xié)同控制：利用 CKD 的 ECMG 多軸控制器 通過 EtherCAT 總線 實現(xiàn)雙軸同步運動，檢測節(jié)拍誤差小于 ±1ms，設(shè)備綜合效率（OEE）提升至 97% 以上。

拓展場景：

芯片封裝：在引線鍵合工序中，EJSG-05-C 與 EBR-12L（擺動型電動執(zhí)行器） 協(xié)同作業(yè)，前者以 500mm/s 速度移送芯片基板，后者以 ±0.005mm 角度精度完成金線焊接，產(chǎn)能提升 25%。

鋰電池制造：在極片涂布機中，EJSG-08-P4（二次電池專用型） 配合 ETS-22（皮帶驅(qū)動型） 實現(xiàn)極片超長行程（1100mm）穩(wěn)定輸送，其防塵設(shè)計有效防止金屬粉塵污染極片。

四、核心優(yōu)勢與差異化競爭力

潔凈性能：低發(fā)塵型（-C）通過全密封結(jié)構(gòu)和吸氣口設(shè)計，可吸附 90% 以上的運動產(chǎn)生粉塵，達到 ISO 4 級潔凈標(biāo)準(zhǔn)，是半導(dǎo)體光刻、電子束曝光等工序的理想選擇。

高剛性與高精度：外導(dǎo)軌式結(jié)構(gòu)配合滾珠絲桿傳動，剛性比皮帶驅(qū)動型提升 3 倍，重復(fù)定位精度達 ±0.01mm，滿足芯片封裝、光學(xué)元件組裝等精密場景需求。

多環(huán)境適應(yīng)性：提供防塵、低發(fā)塵、二次電池專用、食品級四大衍生型號，可在 - 10~+60℃環(huán)境下穩(wěn)定運行，支持 24 小時連續(xù)作業(yè)。

維護便捷性：外置潤滑系統(tǒng)支持免拆卸保養(yǎng)，無電池絕對編碼器減少故障點，維護成本比傳統(tǒng)型號降低 40%。

技術(shù)延伸：EJSG 系列與 CKD 的 ECMG 多軸控制器 結(jié)合，可實現(xiàn) 16 軸同步控制，支持 S 型加減速、圓弧插補等復(fù)雜軌跡規(guī)劃，適用于自動化生產(chǎn)線的全流程優(yōu)化。其滾珠絲桿預(yù)緊力自動調(diào)節(jié)功能可減少 90% 的人工校準(zhǔn)工作量，顯著提升設(shè)備長期穩(wěn)定性。